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        半導體產業潔凈室粒子濃度等級劃分原則

        發布日期:2023-05-10 16:12:17責任編輯:www.feiyangb.cn

        無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性。


        潔凈室的發展與現代工業、尖端技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。


        經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準,都規定了有關的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規范》(GBJ73-84),1996年該規范進行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級:分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。


        如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。


        1級;這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求位亞微米。


        10級;這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。


        100級;很多人認為。這一季無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間。人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于。植入體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。


        1000級;這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配高質量微型軸承等。


        10000級;萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。


        100000級;十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓的制造,食品飲料的生產,醫藥工業也常常使用這一級無塵車間。


        無塵車間是一個多功能的歸納整休,多功能表現在以下兩個方面。


        多專業--修建、空調、凈化、純水、純氣; 多參數--空氣潔凈度、細菌濃度以及空氣的風量、壓力、噪聲、照度,萬級無塵車間強度高,隔熱保溫,可作天花圍護布局板材承重,抗彎抗壓,一般潔凈室比較少用梁柱。


        無塵車間設計要點:


        一、滿足生產工藝對建筑設計的要求,實現高性能的制造空間與設施。在對凈化工程 無塵車間進行總圖設計、平面布置、剖面設計時,必須充分考慮場地的合理利用和滿足工藝生產的要求。在對凈化無塵車間工程的建筑進行設計時,必須處理好潔凈區域與其相關的輔助區的關系。


        二、實現能夠經濟運行的設施,節約能源、易于維護、降低造價。凈化無塵車間建筑設計,必須確保凈化無塵車間內清潔、易清掃、防止內外污染,防止微粒產生、滯留和積存。

        三、應使用可靠性高的運行設施,凈化無塵車間建筑設計,應確保建筑設備的安全運行,當一旦出現事故后,確保人員、財產安全。主體結構應具備同凈化無塵車間內的工藝裝備水平,建筑處理和裝飾水平相適應的等級水平,潔凈廠房的耐久性、耐火能力,裝修應與裝備水平相互協調,使投資長期長揮作用。


        四、應實現能夠適應將來變化的設施,潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有靈活性,為生產工藝的調整創造條件。


        CW一RPC系列遠程激光塵埃粒子計數器是賽納威研發的智能多點監控系統的終端設備,可以通過RJ45網絡接口、WiFi、485 (moudbus)等,將數據傳輸給PC終端,為用戶提供實時準確的車間微粒數量和凈化等級。該粒子計數器按照國際標準IS014644-1,GMP和日本工業標準(JIS)要求標定,其計數效率和準確性滿足JJF1190-2008《塵埃粒子計數器》校準依據,專業應用于電子行業、制藥車間、食品、藥品車間、半導體、光學或精密機械加工車間等潔凈環境;用戶可根據需要增加或減少控制終端,可實現7*24實時遠程自動監測,有助于企業提升自動化、精細化管理。


        在線塵埃粒子計數器
        名稱在線塵埃粒子計數器
        型號CW-RPC200、CW-RPC300、CW-RPC600


        粒子計數器設備分落散布在車間各監控點位,由安裝了系統監控軟件的主控電腦控制各采集點的工作狀態;監控軟件可選擇設定測試粒徑、測試時間、采樣間隔、刷新頻率、顯示單位、采樣模式和超限報警等,并可對測試歷史數據按需求進行查詢、統計、分析及繪制曲線圖,并可提供moudbus485通訊協議對接用戶物聯網平臺,供用戶自行開發和應用。

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